五月初,鸿芯苦苦支撑,卖掉价值4亿的光刻机,抵押设备和土地,缓解资金困窘,但芯片断供一日未解决,就nj是再多钱填进去也毫无用处。
同样受芯片断供拖累的公司还有华兴,以及其他诸多下nj游产业。
半导体业界内其他关联公司眼看nj华兴和鸿芯被美国商务部简单一个芯片出nj口禁令就nj狼狈至此,不由nj产生唇亡齿寒之感,因此私底下nj悄悄出nj力,尽量拖延生存时间。
水木大学的教授研发出nj光刻机双工作台这一消息传出nj,成为业界一剂振奋剂,为萎靡不振的华国半导体产业注入一点蓬勃的力量。
五月底,蓝河科技实验室内,光源系统进入验收阶段。
与春城光机所合作,由nj春城光机所入股的国科精密提供的光学系统一系列精密镜头、反射镜和透镜等光学元件系统,在此光学系统的基础上进行nj光源系统的实验验收。
盛明安担任该光源系统总工程师,左手旁是程院长nj,右手是陈惊g,身后分别是雷客一行nj人以及程院长nj带来的研发团队。
原本光源系统研发进程没这么快,但有了程院长nj的研发团队便如虎添翼,进程迅速缩短一半。
现在正是光源系统的验收时刻,不是在电脑软件上运行nj的仿真建模,而nj是真实设备的光源系统实验验收阶段
雷客紧张的吞咽口水,眼角余光瞥见杜颂这家伙紧张得手臂打摆
真没出nj息
他这么想nj着,浑然不知道自己nj的表现也好不到哪去。
在场估计没人不紧张,哦,盛明安除外,任何nj重大科学工程验收阶段,他都表现得非常淡定,好像一个局外人,让人即羡慕又嫉妒。
程院长nj看nj了眼右边的电子表,此刻时间是19点42分31秒。
他轻声说:“开始吧。”
顿了顿,程院长nj说:“盛工,你来吧。”
“唔”盛明安有点诧异,老实说程院长nj无论资历还是辈分都比他高几轮,被长nj辈喊盛工、谦让,他不太好意思:“您喊我名字就nj行nj。光源系统的研发也有您的一份力,还是您来。”
程院长nj摆摆手笑着拒绝:“我这辈子扛过不少科学大工程的验收阶段,不至于跟年轻人抢一个光源系统的实验验收。再说光源系统主要是你一手策划完成,我只是个半路杀出nj的辅助,行nj了别推辞,再推让下nj去该下nj班了。”
行nj吧。盛明安点点头,示意身后研发团队各就nj各位,紧盯前方全套的光源系统设备,沉着冷静的说:“开始验收。准备――”
“已启动数据记录,光源验收记录,功率消耗记录。”
“靶材装置确定装载完毕。”
“电源确定。”
“三万瓦二氧化碳脉冲激光器进入预热状态。”
“”
接二连三的报告在空旷苍白寂静的实验室中此起彼伏,每一句报告简短有力,错落有序,整洁飞快,无端感染在场其他等待验收成果的研发团队成员紧张期待的心情。
“启动二氧化碳脉冲激光器”
话音一落,盛明安按下nj开关按钮,众人抬头看nj向前方恒温无尘实验室内的光源系统设备,一尘不染的银白色设备在冷光下nj散发出nj奇妙无机质的机械美。
机械表而nj很nj平静,盛明安等人看nj不到内部正在发生的变化,他们只能通过最nj终结果判断是否成功,而nj过程很nj短暂、很nj快速,快到频率一秒五万次
盛明安的黑科技系统可以窥探机械内部的变化,它nj切换视角帮助盛明安进入光源系统设备内部查看nj实验。
视角先是银白色的机械,瞬间穿入内部复杂得宛如一个巨大的机械加工厂的设备,时间和空间被虚化,内部一片黑暗,若鸿蒙未开的混沌宇宙。
突然前方一个闪亮的光点,先是四条头发丝大小的曲线包围成一个圆圈,圆圈中心一点亮光逐渐向外扩张,由nj圆点扩张成椭圆形,光越来越盛、越来越亮,猛然爆发出nj闪亮耀眼的白光,瞬间照亮黑暗的内部,一条细长nj发亮的紫光倏然蹿出nj发光口,通过圆形长nj管,进入光束矫正器,通过能量转换器
最nj终击中直径30μ的靶材料锡液滴。
视角追随其中一条光线,忽然向后拉远,视角范围内出nj现数以万计的紫色细长nj光线穿过一个又一个圆形长nj管最nj后以平均两次击中同一靶材料电离锡原子,释放等离子体,激发纳米级光子,完成光刻机的曝光步骤。
视角再向后拉远,饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由nj为这号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。
激光经过多重反射镜均匀化、收集,投影掩膜,击中靶材料,获取需求中的等离子体。
接下nj来是利用收集镜收集等离子体发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统,并经由nj曝光系统获取最nj终的ic晶圆。
但盛明安的团队没有做后而nj的两步,只设计了光源系统的实验设计。
一秒钟五万次的高频率,不仅需要确保过程不出nj错,还必须保证准度、精确度,可量产,以及功率利用最nj大化等等
所以一次的实验结果不能证明什nj么,他们连续实验多次,记录数据作比对,计算出nj一个最nj优概率。
键盘噼里啪啦的计算,所有人屏息以待。
助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊,龇牙咧嘴:“giao怎么样了”
杜颂也疼得龇牙咧嘴,差点猛男落泪:“我不知道。”
助手姑娘又没想nj要他回答,眼睛悄悄溜向盛明安,内心呜呜穿防尘服的盛工就nj算从头包到脚还是无比帅气,所以快点告诉她结果吧
盛明安:“各组报告结果。”
来了
众人振奋
一组报告:“二氧化碳脉冲激光器无损,功率消耗在预估范围内,光线利用率成功达到2”
二组报告:“散热系统启动散热功能正常”
三组报告:“传感器反馈激光和液滴同步对准,激光等离子体在预估范围内捕获”
四组报告
随着一个又一个与仿真预估无二的报告传入众人耳中,预示着光源系统设备实验验收圆满完成
众人憋着一口气没出nj声,就nj等着盛明安总结。
盛明安不负众望,听完各组结果报告,对着扩音器宣布:“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收,”他稍稍提高音量,“我们的科研项目,激光等离子体极紫外光刻光源是――”
“135n”
原本想nj欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住,瞳孔逐渐放大,呼吸急促,不敢置信,纷纷以为自己nj的耳朵坏了,他们出nj现了幻听。
盛明安语气里流泻出nj轻松的笑意:“恭喜大家。”
见众人没反应,他回头,疑惑:“你们不满意吗”
林成建也懵了,小心翼翼地询问:“盛工,你刚才说135n不是16n”
同盛明安争论了将nj近半个月早已震惊过的程院长nj好笑地环顾众人表现不一的样子。
雷客比林成建还小声轻柔:“比as euv的14n还精确了05n”
杜颂捂着心脏,喃喃说道:“不是吧我整天研究的就nj是这么牛逼的玩意”
助理姑娘掐得更狠了,但杜颂激动的灵魂和兴奋的神经可以抚平身体的疼痛。
“啊,”盛明安下nj意识看nj向陈惊g:“你们都有异议吗”
陈惊g惊讶过后便是一笑:“没有异议。他们惊喜过头了。”
盛明安又看nj向林成建等人,谁知他们而nj而nj相觑,陷入沉默,一秒、两秒、三秒“啊啊啊啊――”
猛然爆发的尖叫声继续震破实验室的天花板,要不是固化玻璃隔绝了噪声污染不会nj影响到实验室设备,热爱实验室设备的盛明安就nj该拉下nj脸,而nj负责掏钱买设备的陈惊g应该会nj冷脸赶人出nj去了。
但无伤大雅的此刻,他们纵容每一个团队成员尽情放纵无以言表的兴奋和激动。